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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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准分子激光刻蚀聚合物微图形制作研究
章琳, 楼祺洪, 魏运荣, 董景星, 李铁军, 黄峰
2002, 26(2): 94-96.
关键词: 紫外准分子激光, 刻蚀, PI, 微图形制作
紫外激光切割Si片的实验研究
楼祺洪, 章琳, 叶震寰, 董景星, 魏运荣
2002, 26(4): 250-251,254.
关键词: 紫外激光, 激光切割, 硅片